Влияние температуры поверхности на характеристики распыления керамик на основе нитрида бора

Журнал: Вестник Московского авиационного института
Тэги (англ.):  ions; plasma; surface; sputtering; surface temperature
Авторы:  Семенов
Выпуск № (Вверх):  2009. Т.16. №1