Некоторые вопросы исследования и разработки процесса сращивания структур «кремний на изоляторе»
Журнал: Вестник Московского авиационного института
Тэги (англ.): bonding technology of structures, aviation MEMS devices.
Авторы: Тимошенков / Калугин / Соколов / Парфенов
Выпуск № (Вверх): 2012. Т.19. №1
Тэги (англ.): bonding technology of structures, aviation MEMS devices.
Авторы: Тимошенков / Калугин / Соколов / Парфенов
Выпуск № (Вверх): 2012. Т.19. №1